杭州某半导体行业集成块生产工艺厂,晶圆工艺工作中所产生含硅、氟的独特生活污水,开发工作数量1200吨/日。生活污水有效成分麻烦,富含纳米技术级硅科粒及盐酸,普通工作手段根本无法符合标准。
生活污水的成分及收入
注意污染破坏物
:胶体溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
来自制作工艺
:晶圆刻蚀工业废水处理方法(45%)、CMP化学工业机制打磨抛光工业废水处理方法(40%)、主设备消毒水(15%)
治理流量流量
多元化选取"化学上沉定+特种车膜离心分离"技艺线路:
钙盐结晶
:加药氯化钙除去氟正离子(转换CaF2沉淀物中)
斜管沉淀池表现
:包覆二沉池剂进行溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔经膜虚报冒领微细粒子
反融合模式
:脱盐率>98%,利用率75%
挥发成果
:浓水段变现氟化物零释放
终极使用效果
氟化物氨水浓度:<8mg/L(高于国五级原则10mg/L)
硅含铁:<5mg/L
水資源中水回用率:70%使用于急冷塔补充水分
危险废物降低:多效蒸发残余物量较传统化生产技术降低60%