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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

杭州某半导体行业集成块生产工艺厂,晶圆工艺工作中所产生含硅、氟的独特生活污水,开发工作数量1200吨/日。生活污水有效成分麻烦,富含纳米技术级硅科粒及盐酸,普通工作手段根本无法符合标准。 生活污水的成分及收入 注意污染破坏物 :胶体溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇 来自制作工艺 :晶圆刻蚀工业废水处理方法(45%)、CMP化学工业机制打磨抛光工业废水处理方法(40%)、主设备消毒水(15%) 治理流量流量 多元化选取"化学上沉定+特种车膜离心分离"技艺线路: 钙盐结晶 :加药氯化钙除去氟正离子(转换CaF2沉淀物中) 斜管沉淀池表现 :包覆二沉池剂进行溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm孔经膜虚报冒领微细粒子 反融合模式 :脱盐率>98%,利用率75% 挥发成果 :浓水段变现氟化物零释放 终极使用效果 氟化物氨水浓度:<8mg/L(高于国五级原则10mg/L) 硅含铁:<5mg/L 水資源中水回用率:70%使用于急冷塔补充水分 危险废物降低:多效蒸发残余物量较传统化生产技术降低60%

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