某半导体处理器处理器所产生厂在晶圆生产制造阶段中，实用硅烷实施硅外延性生长的，空气洗條塔所产生高氨水浓度含硅污水。污水还具有pH变化大（2-11）、硅含锌量高的特殊性，常用处理具体方法易出来硅垢闭塞间题。 废水处理方法材料及来原 化工废水主要物质为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂渗透压达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化物钠 ：洗涤剂剂塔腐蚀性洗涤剂剂液残余 颗粒肥料硅 ：nm级SiO₂溶液 痕量砷 ：奶茶原料其它杂物融入 处里加工过程方案 创新发展使用"两极结合+膜过滤系统+蒸发器晶体"生产工艺： 五级结合 ：用CaO调节器pH至4-5，出现硅酸钙析出，硅彻底清除率60%。 下级采和 ：加Na₂CO₃将pH提高了至9，进的一步沉淀出的余量硅，并接用镁剂除砷。 反渗透装置控制系统 ：0.02μm瓷砖膜过虑纳米级级硅颗粒肥料，通量相对稳定在80LMH。 MVR多效冷凝器 ：提液高盐废水处理，心得出Na₂SO₄副企业产品，水造纸废水处理率超90%。 终于功效 总硅从1500mg/L调至5mg/L下列 砷含水量从0.8mg/L减至0.01mg/L 模式无积垢电脑运行低于2年 历年环保再生资源回收氢氧化钠钠氯化钠晶体约800吨