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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆生育线搭配的超超纯水操作系统,每天都在会产生含硅电镀废水150吨。电镀废池中虽无高价属,但硅含氧量高易积灰,且内阻率需达到18MΩ·cm才行循环。原本治理工学艺是没办法做到新废止的《手机制造业水环境污物排污规定》(GB39731-2020)相当排污规定值。 废污水有效成分显著特点 主耍环境破坏物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、粉末硅(粒级0.1-1μm) 特异条件 :TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L 水体质量性能 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅氧化物社会形态麻烦 处里加工过程环节 转型升级选取"梯级膜脱离+电去阴离子"三人组合加工过程: 微滤预工作 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽短信大颗料硅,通量能维持80LMH 铝离子互转聚酯树脂 :D201大孔不饱和树脂采用性过滤硅酸大分子 二级考试RO装置 :弟一段收集率60%,其次段所采用高脱硼膜元器件 EDI电去正离子 :直流电密度计算2A/m²,坚持洗去的残留物铝离子 紫外线消菌 :254nmUV紫外线灭菌灯线药量40mJ/cm² 高技术工作亮点 制作专业阻硅剂(巧妙胺类包覆物),减缓膜危害定期3倍 EDI模块电源创新发展流道开发,硅除掉率提高至99.8% 迅雷在线硅了解仪(测定位置0.1-500μg/L)体现精确调控 运营功效 经其承包方检查测量: 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降为0.3μg/L 机系统回收利用率从原40%提拔至68% 膜替换周期性延长了至5年,年加载直接费用大幅度降低35%

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