该例出自于华南中北部全家人大型的半导体器件制作业单位,包括生產集合电路设计电商器件。在生產操作过程中,晶圆家电清洗、蚀刻等工艺需选用巨大电商级磷酸(色度≥85%),因而造成高含量含磷工业废水。单位原始加工体系没有办法满足了逐渐坚持原则的释放细则(TP≤0.5mg/L),急要晋级创新。
污水物质及来历
污水关键主要来发源这几个节点:晶圆的洗涤污水(占总需水量60%)、机喷洗污水(30%)各种地表喷洗污水(10%)。饮用水特色症状为:pH值1.5-2.5,总磷渗透压800-1200mg/L,氟铝离子的含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含有少量天价属(铜、锌等)。
加工处理新工艺方案
顶目利用"预正确处理+化学上沉垫+高级的钝化+深度.过滤器"的组装技术:
自动调节池
:稳定水质监测控制系统供水量,拥有pH免费在线监控控制系统控制系统
1阶段想法池
:污泥脱水氧化钙乳设定pH至8.5-9.0,养成Ca3(PO4)2沉淀物
二次作用池
:移除PAC和PAM提升二沉池效果好
斜板沉淀物中池
:满足固液分離,厌氧颗粒污泥迈入烘干系统性
Fenton硫化第一单元
:H2O2与Fe²⁺一体化做用化学降解生产物
多媒介筛选器
:石英砂砂+亲水性炭组合起来净化,加强组织领导出液清新
阴阳离子置换系统的
:进一部去掉稳定度五金阳离子
终结视觉效果
装置电脑运动不稳定性后,留水水环境:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阳离子≤5mg/L,每项指数公式好于《電子工业品水污染破坏物排出准则》(GB 39731-2020)。每一年少磷排出约15吨,废水行成量较常用技艺降低40%,电脑运动代价控制在8.两元/吨水。