好项目底色
某门头半导体技术营造行业地属长江三角洲型东北部,重点出产晶圆和集成电路芯片。在出产时中,晶圆激光切割和打磨抛光周期产生过量精磨液废液,每日尾气排放口标准量约50吨。因废液中内含高含量浮动物、材料铝离子及无机增加剂,同时尾气排放口标准会对大环境引致嚴重严重污染,行业亟需发展专业课程处理体系。
废气组成及的来源
镜面抛光液废液核心体现了晶圆加工处理中的有机化学机器镜面抛光(CMP)步骤,核心严重排放物具有:
透明桌面小粒物
:二脱色硅、脱色铝等碾磨颗粒物,孔径在0.1-1μm,溶液浓度到达2000mg/L。
材料正离子
:铜、铁、锌等,位于磨光垫偏磨及晶圆面金属材料层,铜阳离子溶液浓度约50mg/L。
有机酸调用剂
:是指界面渗透性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性有害物质
:pH值动荡大,通常情况下在2-11互相。
进行处理技术步奏
对於化工废水性能指标,运用“预操作+生物化学+宽度操作”组合式制作工艺:
控制池
:均衡化污水水质容量,使用酸碱性控制pH至碱式盐。
混凝土结晶
:加药PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),的还原悬浮按钮物和溶液,沉降后SS的还原率>90%。
催化反应防氧化
:采用了Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解无机“着色剂,COD删去率达60%。
怪物加工
:MBR膜生态学反应迟钝器进第一步生物降解超过生产物,COD降落到100mg/L低于。
铝离子交流
:专门用树脂胶吸铜正离子,溢水铜含磷量<0.5mg/L。
砂滤+活性酶类炭过滤水
:保障满水后浑浊,到《污泥综和废气规则单位》(GB8978-1996)3级规则单位。
然后特效
整体程序运行固定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
使用率达40%,累计不合格减排,年限制生产废水减排1.10万吨。
加工处理成本预算约15元/吨,远少于餐饮行业的平均。